制造平板显示器用的机器及装置:

	扩散、氧化、退火及其他热处理设备

	化学气相沉积装置(CVD)

	物理气相沉积装置(PVD)

	化学气相沉积设备(CVD)

	物理气相沉积设备(PVD)

	超声波清洗装置