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  • 本章注释九(三)规定的机器及装置:
    •     主要用于或专用于制作和修复掩膜版(mask)或投影掩膜版(reticle)的装置
    • 主要用于或专用于装配与封装半导体器件或集成电路的设备:
      •     塑封机
      •     引线键合装置
    • 主要用于或专用于升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的装置:
      •     集成电路工厂专用的自动搬运机器人
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